• 박종민 논문 공모전 최우수상 수상
  • 관리자 |
  • 2012-11-30 17:58:15|
  • 11222
  • 관련보도링크

박종민(지도교수: 정희턔) 박사과정생이 Lam Research Korea 주최 논문 공모전에서 최우수상을 수상하였다.


논문제목 및 저자: Nanoporous SiCOH/CxHy Dual Phase Films with an Ultralow Dielectric Constant and a High Young’s Modulus
                           By Jong-Min Park, Jong Kil Choi, Cheng Jin An, Ming liang Jin, and Hee-Tae Jung*


   **Lam Research Korea : 세계 4위 반도체

식각과 웨이퍼 세정 장비 전문업체

첨부파일