Department of Chemical and Biomolecular Engineering
Korea Advanced Institute of Science and Technology

제목

박종민 논문 공모전 최우수상 수상


박종민(지도교수: 정희턔) 박사과정생이 Lam Research Korea 주최 논문 공모전에서 최우수상을 수상하였다.


논문제목 및 저자: Nanoporous SiCOH/CxHy Dual Phase Films with an Ultralow Dielectric Constant and a High Young’s Modulus
                           By Jong-Min Park, Jong Kil Choi, Cheng Jin An, Ming liang Jin, and Hee-Tae Jung*


   **Lam Research Korea : 세계 4위 반도체

식각과 웨이퍼 세정 장비 전문업체

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등록자배성순

등록일2012-11-30

조회수7,217

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